1329 erhielt Diez Stadtrechte.
Im 13. Jh. spaltete sich das Grafenhaus in die Linien Diez und Weilnau, wobei die Stammburg wohl immer gemeinschaftlicher Besitz blieb. Im Jahre 1386 starb das Geschlecht von Diez im Mannesstamme aus, durch die Erbtochter Jutta kam die Burg mehrheitlich an Graf Adolf von Nassau.
Anschließend wurde sie Gemeinschaftsbesitz der beiden Nassauischen und der Eppsteiner Linien, seit 1453 auch der Grafen von Katzenelnbogen, deren Anteil 1479 Hessen erbte.
1564 kam Diez in den alleinigen Besitz des Hauses Nassau.
Ab 1607 war die Burg erneut Sitz (Residenz) einer Seitenlinie Nassau-Diez, die 1652 in den Fürstenstand erhoben wurde.

Seit 1747 ist die Linie Nassau-Diez Nachfolger der älteren oranischen Linie.
Bis 1784 bleibt das alte Schloss Regierungsgebäude, anschließend wird es in eine Strafanstalt umgewandelt, die bis 1927 hier verblieb.

Später wird sie Jugendherberge und Museum, z. Zt. gibt es umfangreiche Restaurierungsmaßnahmen.